當(dāng)前,行業(yè)備受青睞的產(chǎn)品是氣相沉積(CVD )硅碳材料,通過硅烷、碳?xì)錃怏w依次沉積形成致密結(jié)構(gòu),首效高,循環(huán)好,膨脹低,獲得產(chǎn)業(yè)界廣泛的認(rèn)可。國內(nèi)外各大企業(yè)積極投入硅基負(fù)極材料的應(yīng)用研發(fā),我公司研發(fā)定制的硅烷沉積爐備受關(guān)注。近日,福建、寧波等地多家客戶到訪我公司考察硅烷沉積爐并開展實(shí)驗(yàn),進(jìn)一步推進(jìn)產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。
雙方在科源窯爐實(shí)驗(yàn)室就以下問題展開討論:
1. 設(shè)備的氣路設(shè)計(jì)及進(jìn)氣方式的改進(jìn);
2. 探討如何優(yōu)化設(shè)備為自動(dòng)進(jìn)料系統(tǒng);
3. 焚燒爐在沉積過程中不可或缺的重要作用。
我公司商務(wù)及技術(shù)人員陪同考察,并就硅烷沉積實(shí)驗(yàn)爐操作進(jìn)行講解,分享我公司在實(shí)驗(yàn)過程中避免閃爆問題的對策,客戶對我公司產(chǎn)品性能、生產(chǎn)流程、質(zhì)量控制體系以及設(shè)備先進(jìn)性給予了高度評價(jià)客戶,并對于設(shè)備也提供了建設(shè)性意見。雙方會(huì)進(jìn)一步加強(qiáng)合作,實(shí)現(xiàn)共贏!
【素材來源:科源窯爐實(shí)驗(yàn)室】